光声光谱气体分析仪，实时监测气态分子污染物AMC，是基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术，结合量子级联激光（QCL）光源，工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了足够的灵敏度可以无时延的探测最微小浓度的CF4喷溅或者溢出，同时保证了超高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个月甚至几年，大大减低了总体持有成本。

检测需求

洁净室需要控制污染物水平。准确、可靠和低维护成本的洁净室气态分子污染物AMC控制可以显著的提升产能。

可靠的监测

高灵敏度的DKG ONE-CF4可以在生产环境中快速的探测污染物。另外，直接吸收式的检测因其零背景的性质，可保证长期高稳定性。DKG ONE-CF4可与其他检测仪器，如颗粒物监测仪等，整合在一个机柜里。

技术应用

DKG ONE-CF4光声光谱气体分析仪是基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术，结合量子级联激光（QCL）光源，工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了足够的灵敏度可以无时延的探测最微小浓度的CF4喷溅或者溢出，同时保证了超高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个月甚至几年，大大减低了总体持有成本。

光声光谱气体分析仪 优势

准确、可靠和低维护成本的洁净室污染控制

快速的响应时间，以捕捉浓度突然上升

独立运行系统，内置气体交换泵

无耗材或者化学试剂

短光程，单点校准 优秀的动态量程

直接吸收测量，无漂移

校准间隔长（可达数年）

高选择性，不受乙醛和其他VOC的干扰

特点

高选择性的监测痕量水平的CF4

检测下限(LoD)低于0.1 ppb

响应时间可设置，从5秒到3分钟

动态范围宽，运行稳定

无耗材

低样品量（几ml）

内置气体交换系统

重新校准间隔长（几个月）

直观的用户界面

内置显示屏，可数字式或者图线式显示结果

可通过局域网远程操作