离子迁移谱气体分析仪，是一种基于均匀电场中离子-分子相互作用的分析技术。该技术的主要优点是：结构紧凑、灵敏度高（ppb-ppt级）、响应速度快（毫秒范围）、常压操作和分离异构体的能力。传统的IMS仪器主要由电离区、反应区和漂移管三部分组成。

离子迁移谱气体分析仪 工作原理

离子迁移谱（IMS）是一种基于均匀电场中离子-分子相互作用的分析技术。该技术的主要优点是：结构紧凑、灵敏度高（ppb-ppt级）、响应速度快（毫秒范围）、常压操作和分离异构体的能力。传统的IMS仪器主要由电离区、反应区和漂移管三部分组成。

离子迁移谱气体分析仪 特点优势

晶圆厂AMC监控

环境空气ppb级别检测

TA、HCl、HF、NH3、VOC

非放射性等离子体电离源

高灵敏度

与猎户座3100结合，可以监控45个端口

实时图形软件

离子迁移谱仪示意图

离子迁移谱技术具有灵敏度高（ppb范围）、响应速度快（毫秒范围）、结构紧凑、可在大气压下操作以及能分离异构体等优点。在这篇简短的报告中，我们展示了使用IMS检测（HCl）和（HF）的灵敏度和快速响应。

HCl和HF是摩尔质量为36.46 g/mol（HCl）和20 g/mol（HF）的小分子。HCl酸和HF酸是医药、高分子、石油化工等工业中的重要化合物。这两种化学物质在半导体工业中也很重要。在许多半导体应用中，需要在低ppb水平下监测HCl和HF的存在。

将60 ppb的HCl与85 ppb的HF进行比较。从右图很明显可见，这两个化合物可以很容易地被EIMS区分。IMS的分离能力可以通过降低离子门脉冲的长度来提高。然而，分离度的提高会导致灵敏度的降低。另一方面，牺牲IMS的分辨能力可以提高灵敏度。所有这些修改都可以在软件中轻松实现，用户可以方便地设置HCl和HF检测的最佳参数。

EDK 4500 EIMS主要特点：

猎户座3100是半导体工业的完整AMC系统

猎户座3100是一个多点区域监测系统，依次将气体吸入分析仪或通过气体传感器分析读取浓度，采样点数可根据用户需求配置。猎户座3100有报警和报告软件，是依据多年的经验开发的系统。

猎户座3100可使用以太网、Modbus、 RS232/RS485或可选4～20mA模拟模块，最多可从4至6个分析仪或气体传感器输出数据。每个分析器都有一台内部计算机（Linux OS），它可以无限期地存储硬盘上的数据，并通过数字（RS232）或以太网输出将实时数据发送给数据存储器。此外，该分析仪可以通过互联网远程控制。此功能允许用户在任何可以访问Internet的地方使用web浏览器操作分析仪。此远程访问允许对仪器进行bios级控制，并提供无需现场即可获取数据和诊断仪器操作的机会。